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第八百九十四章 封鎖IP

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技術路線既然確認,那麼接下來就是如何將其實現了。

王中軍作為實驗室的負責人,並不需要事無鉅細的全面參與進去,更多的還是掌握方向和協調與督促進度。

想透過原子力顯微鏡來刻畫光柵,最大的攔路虎看來就是矽探針的問題了。

既然要求是100奈米解析度的光柵,那麼探針的針尖應該至少在50奈米。

所謂光柵,其實就是一排透明和不透明交替的寬度相等的玻璃片。它的解析度,就是一組透明和不透明交替刻痕的總寬度。如果這一組的寬度是100奈米,那麼不透明刻痕的寬度就應該是50奈米。

想劃出一條50奈米寬的刻痕,當然就需要50奈米細的針尖了。

“我們所有的要求都集中在這跟探針上面,我們的刻痕是50奈米,但我們的解析度卻不能只有50奈米。”

王中軍頂著一頭有些散亂的頭髮,充血的眼睛看起來像是有些睡眠不足,但說話的聲音卻是中氣十足。

他用一支筆,指著幕布上的投影,接著給實驗室裡的其他研究員佈置任務::“探針材質必須是矽,我們的檢材不會是絕對平滑,所以必須確保探針斷裂也不會對材料造成汙染。”

“它的形狀應該是一個梯形,針尖是50奈米寬的平面,也就是500個矽原子的寬度。”

王中軍想了想,補充了一句:“之前我認為用針尖直接敲擊材料,這個思路是不合適的。矽敲擊矽,我們無法保證探針上的矽完整性,也就是說敲擊的寬度是不可預測的。所以直接敲擊材料不合適,我們還需要用探針去除光刻膠,最後透過蝕刻和離子注入來實現光柵。”

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