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“董事長,要是Nikon在我們之前,率先攻克157nm鐳射器技術,率先研發成功65nm製程工藝的光刻機,我們如何應對?”
CTO湯普森知道EUV光刻機不是短時間內能研製成功的,也主張兩條腿走路,GCA研究院如今也在研發157nm鐳射器,由於GCA一直以研發EUV為主,157nm鐳射器的技術遠不如Nikon和SVG,投資10美元,要是能夠收購SVG,拿到SVG獨有的157nm鐳射器需要配置的反折射鏡頭技術,不能反超Nikon,也能同Nikon並肩齊驅。
孫董事長不同意公司收購SVG,湯普森也不理解。
EUVLLC聯盟規劃投資2億美元,集合200多位頂尖科學家,目的就是從理論上驗證了EUV光刻機的可行性?理論驗證完成後,EUVLLC聯盟將宣佈解散,將研製EUV和EUV光刻機的難題交給GCA,據同行在一起估算,研發投資起碼要花50億美元!
湯普森領導EUVLLC聯盟的200多位科學家,研究了2年多,還沒有驗證清楚EUV光刻機的可行性?
“湯普森院長的擔憂也有道理,除了加強研發力量繼續研究157nm鐳射器技術外,艾德里安先生可以同Papken先生接觸一下,看對方是否願意出售反折射鏡頭技術的專利?價格可以商量”
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