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“各位董事,要是EUVLLC聯盟在未來二年內從理論上證明研製EUV光刻機的技術可行,將這個寶貴的機會和重任交給GCA,公司不可能放棄,但投資巨大,半導體產業陷入衰退又不可避免,避免兩線作戰,造成資金捉襟見肘,我們只能將重心放在EUV光刻機的研製上。我建議艾德里安先生和湯普森院長出面找SVG商談,聯合開發157nm鐳射器。”
孫健估計,EUVLLC聯盟在明年底前就能證明製造EUV光刻機在理論上的可行性,但EUV光刻機量產最起碼還需要10年,如今也不能告訴大家,到時由BSEC免費提供193nm浸沒式光刻機專利技術給GCA。
BSEC是在GCA擁有的第一代193nmArF準分子鐳射器專利技術基礎上研發成功193nm浸沒式光刻機技術,核心還是GCA擁有技術專利的193nm準分子鐳射器,GCA研製的第二代、第三代193nm準分子鐳射器也授權BSEC技術;雖然浸沒式光刻技術屬於BSEC重新開發的公司發明專利,但按照當初簽訂的專利技術授權轉讓合同,要免費授權給GCA使用,就像GCA去年研發成功的第三代(12英寸晶圓、90nm製程工藝)磁懸浮式雙工作臺系統,專利還是屬於BSEC,授權GCA免費使用。
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