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第731章 向著世界光刻機產業前進

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林本堅看到了林強生站在實驗室外面,邀請他走進了實驗室,高興的說道:“林先生,你提出用純水做透鏡的想法非常棒,純水的折射率為1.33,這樣浸潤式顯影技術有望讓我們在現有裝置的基礎上,可以達到0.5微米的製程工藝,完全不是問題!”

林強生看了看實驗裝置,一臺經過改造了的光刻機,他對林本堅說道:“目前這個想法也只有少數人知道,屬於公司的絕密技術,絕對不能透露出去!”

林本堅嚴肅的說道:“林先生你放心,我一定保守這個秘密,這是我現在最重要的工作!”

林強生點了點頭,侵液式光刻機就是林本堅提出的想法,他當然知道這個裝置重要性。在透鏡和淹沒版間加超純水,利用水提高解析度。短短一句話就能夠給懂行的人無數啟發,價值無限,所以這裡的一切是連一個字也不能向外界透露的。

現在這個實驗室也只有林本堅和國內來的幾名研究人員能夠進入,而且他們都簽署了保密協議,這臺裝置的零配件都是分開製造的,最後由林本堅等人親自組裝,裝置和這個實驗室有著多重保護,現在它是東星半導體最重要的財產。

林強生看著光刻機,就像一個大櫃子,這還只是個粗糙的試驗型,離著成品還有好長的距離,他向林本堅問道:“你覺得我們多久能拿出成熟的浸液式光刻機?”

林本堅說道:“這需要改進光刻機的各個系統,軟硬體還十分不成熟,而且在光刻機侵沒液體控制系統上還需要儘快的開展研究,這涉及到自動控制領域。”

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