整整三天時間,燧石研究院全體放假,名義是準備迎接精密儀器和機械專項科研計劃的成果驗收,提前放個假,回來有得忙。
實際上,在趙鴻濤安排人看護住顧松所在的這一大間實驗室之後,裡面就只有顧松一個人。
趙鴻濤也不知道顧松在裡面搞什麼,他也不問,只按時給顧松把吃的送過去。
這枚晶片,就純粹是耗費時間。
啥都得自己動手去操作儀器,光是掩模板的製作,就花了一整天的時間。
顧松休息了一晚養精蓄銳,第二天早上起來正式開工。
曝光的每一步的引數,都是推算好的。光把這些引數設定進去,就花了顧松小半天時間。
在正式開工之前,又花了近兩個小時,才勻膠烘好一片合乎要求的8寸晶圓。
將掩模板和晶圓放好,對準又花了將近半個小時,確認一切引數都沒問題,顧松才開始按下開始鍵,等待曝光完成。
曝光的時間倒是很快,就不知道效果怎麼樣。
顯影完之後,顧松先是檢查。
在開啟“專注運算”模式之後,都花了有將近1個小時的時間,才初步確認,覺得應該沒什麼問題。
硬烘、刻蝕,最後去除光刻膠,才得到這塊巴掌大的晶片。
雖然有巴掌大,但它的製程卻並不低。
沒辦法,現在沒有先進的工藝裝置能製作基於奈米碳材料的下一代立體網路晶片。在現在這種矽基半導體工藝思路下,只能用簡化版做出來,實現基本的功能。
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