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從軋鋼廠回來,於海棠還悶悶不樂,何雨柱也差不多,這次回去感慨良多。
“行了,別悲秋傷感了,我要去一趟實驗室,你要去哪,我送你過去。”
“我回家……”於海棠歪著頭,靠在後座椅上,看著窗外。
何雨柱嘆了一口氣,“去西直門……”
司機點頭,踩油門走了。
把善感的於海棠送回去,何雨柱直接去了海淀實驗室,也就是生產基地內,這裡面積一點不比軋鋼廠小。
大型工業園區差不多,三十多畝地,兩次擴建。
開車來到無塵車間,找到了正在搞研發的倪光南。
他旁邊十幾個博士生助手記錄光刻機資料。
何雨柱套了一身防護服,過去湊了湊,只見光刻機光源束照進投影物鏡,下方和晶圓之間充滿了水,光源透過水媒介,按線路圖在晶片上光刻著。
何雨柱瞅半天,也瞅不出個所以然來。
等了會,見光刻機停下,倪光南拿著晶片,失望的搖了搖頭,何雨柱連忙說道“倪院士,忙著呢。”
倪光南對他點了點頭,又嘆了口氣:“唉,還是不行,浸沒式這套理論沒錯,可這差在哪了。”
搖搖頭,又瞅著這臺光刻機沉思了起來。
這臺光刻機就是他們自主研發的193奈米光刻機,名字叫t1。
而想要研發下一代,大家當時都沒什麼思路,因為國外現在也卡在這裡十多年了,都毫無進展。
只有腳盆的佳能跟尼康透過拉短光源,強行從193奈米縮短到157奈米。
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