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第438章 光刻機專案:另闢蹊徑

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沐陽研究更新後的閱讀系統兩個多小時才研究透,興奮得睡不著。

喝了一杯茶,他想看看晶片製造技術的核心裝置:光刻機。

目前市場上,有兩種主流光刻機,一個是DUV光刻機,另一個是EUV光刻機。DUV是深紫外線(DeepUltravioletLithography),EUV是極深紫外線(ExtreUltravioletLithography)。

從製程範圍來看,DUV基本上只能做到25nIntel憑藉雙工作臺的模式做到了10n但是卻無法達到10n下。

只有EUV能滿足10n下的晶圓製造,並且還可以向5n3n續延伸。

這個線寬其實就是跟光的線寬有關係,比如可見光的G線,那就是436n如果用來刻蝕,線路肯定很寬。

可以簡單地認為,光刻機的光系統其實就是一支畫筆,不同的光代表不同粗細大小的筆芯,越細的筆(光)能夠畫越細越複雜的畫。

DUV就是彩筆,EUV就是中性筆,中性筆畫的線條比較細,比較好用。

這麼理解,也好理解光刻機到底如何刻蝕電路圖了。

當前,國外品牌光刻機主要以荷藍ASML,島國Nikon和Canon三大品牌為主。

EUV的價格是1—3億美金/臺,DUV的價格為2000萬—5000萬美金/臺不等。

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