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前世,EUV光刻機的聯合研發成功幾乎逼近當時人類物理學、材料學以及精密製造的極限,除了光源功率要求極高,透鏡和反射鏡系統也極致精密,還需要真空環境,配套的抗蝕劑和防護膜的良品率也不高,別說ASL或Nikon,就算是科技實力世界第一的美國,以一國之力,完全自主製造一臺EUV光刻機,比登天還難。
EUV光刻機被稱為人類工業皇冠上的明珠!
湯普森院士團隊雖然沒有研製成功EUV,但研究成果對GcA的光源和光學精密裝置的不斷改進貢獻極大。
由於孫健重生,瀕臨破產倒閉的GcA浴火重生,重回全球光刻機的龍頭企業之一,成為EUVLLc聯盟的重要成員,湯普森院士團隊專門研究EUV光源7年,取得了不少重要技術成果,EUVLLc聯盟研製成功EUV光刻機,肯定不需要15年。
GcA將成為全球唯一生產EUV光刻機的廠家,AtIc將成為最大的受益者,雖然孫健也樂見其成,但以美國人的性格,極有可能讓AtIc交出GcA的控股權,嚴禁出口EUV到中國,這不是重生者願意看到的結果。
前世被美國技術封鎖,舉國之力,孫健穿越前沒有看到國產EUV光刻機的影子。
經過一年多的努力,bSEc已經研究成功8英寸晶圓、250n製程工藝的光刻機,正在抓緊時間研製180n製程工藝的光刻機。
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