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“不要洩氣，搞研發就是如此，到底是什麼問題？”許振鳴在電話裡給郭連生打氣，隨後就安排司機送他去鳴芯製造公司3號廠房。

無塵車間裡，郭連生的團隊正在拆卸蝕刻機的外殼，工人們都陰沉著臉，一聲不吭的在幹活。

“許董，看樣子國產等離子發生器的質量不行，換到老外的主機系統上根本不配套。”看到許振鳴走來，郭連生摘下口罩朝許振鳴苦笑著搖頭。

對於蝕刻機這種高精尖的機電一體化產品，許振鳴也已經是外行人了。蝕刻機用等離子光束清洗光刻膠，肉眼只能看到一束光在矽晶圓片上掃射，除非用高精度電子顯微鏡才能看到部分矽晶圓片的電路蝕刻情況。

故此，許振鳴沒有不懂裝懂，而是皺著眉頭問道：“你認為這是機械問題，還是控制問題，或者是系統問題？”

按照許振鳴的理解，郭連生的團隊在試驗之前，應該用國產蝕刻機做過一些除錯實驗。他想知道用國產蝕刻機來蝕刻晶片電路的時候是否穩定，是否有過成功的案例。

“有是有過，但很不穩定。有時可以做到130奈米，有的時候就做不到。所以我們採用替換法來找原因。”

“那你們離成功還遠的很吶。”許振鳴不由得的一揮手，示意郭連生應該冷靜下來，召開技術討論會，探討一下國產蝕刻機不穩定的故障緣由。

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