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這時,梁宋松也半蹲了下來,目光一直盯著主體系統的接駁機構。他想找出故障的原因,證明自己的猜想沒有錯。
“我們這臺光刻機的接駁機構是測繪以後的仿製,沒有原始圖紙,精度沒保障。所以說,就是個接駁機構出了問題。”仔細觀察了半天,梁宋松果斷的下結論,認為還是光刻機主體系統出了故障。
他這套理論倒是有點道理,可跟兩套系統組合以後的質量缺陷有啥聯絡?
故此,萬寧古根本不同意梁宋松的意見,“鐳射光路系統和光刻機主體系統是剛性連線,跟這套接駁機構有啥關係?”
剛性連線只要保證連線機構的穩定就行,不會對兩套機構的效能穩定性造成影響。再說了,這套接駁機構使用液壓鎖定方式來確保穩定性,根本不會影響光刻機兩套系統的穩定性。
萬寧古對光刻機的結構非常熟悉,一下子就排除了梁宋松的論斷。按照他的設想,眾人不要在這套接駁機構的穩定性上做深層挖掘。
這時,眉頭緊鎖的許振鳴稍稍一抬眉,瞥了一眼身旁的萬寧古。“老萬,光刻機的震動量、電磁雜波干擾等方面,會不會影響到光刻機的穩定性?”
“嗯…肯定會有影響的。要不然,光刻機的工作環境要求非常高,基礎要有防震動設施,現場電磁雜波要做遮蔽措施。”
萬寧古皺著眉頭說道,心裡還在考慮著其他的影響因素。在他看來,這次檢測要麻煩許多了,要把光刻機主體系統的元件一一拆開,分開檢查測試才行。
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