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“太棒了周博士,集團公司會立即增加一鳴閩都鐳射實驗室的投資!”聽完竹竿博士周陽的介紹,許振鳴喜出望外的笑道。說話間,他拿出手機馬上就給遠在南安總部的胡明鎮打電話。
“老胡啊,跟你說一個好訊息。你們正在研製的第四代光刻機,鐳射光源的問題已經有著落了。”許振鳴激動不已的給胡明鎮報喜。
還沒等他話音落下,手機裡頓時傳來胡明鎮的驚呼聲,“你說什麼?郝寧教授他們已經取得突破了嗎?他們是怎麼解決ArF氣體的均勻分佈和分子運動的問題?”
胡明鎮的團隊都知道ArF氣體經過鐳射粒子束轟擊後悔產生高能準分子的離子束,但一直都找不到均勻可控的鐳射粒子束。
即便郝寧教授的團隊成員一直都在努力,用光學儀器光路系統來控制深紫外粒子束,可依舊沒取得什麼進展。
與之同時,在這方面技術最領先的島國尼康公司好像有所突破,已經能做出193奈米的鐳射發生器。但他們依舊沒能獲得高能的193奈米深紫外光源,不能把ArF準分子鐳射做成商品化。
也就是說,目前鐳射技術最牛的島國人還沒能把深紫外鐳射商業化,還停留在實驗室的階段。
而周陽博士的團隊在無意之間就曾經取得突破,卻因為這種光源不符合國防裝備的需要從而放棄了。要不是許振鳴心血來潮的突然來訪,這項技術恐怕就會被束之高閣,也不知道多少年以後才會被拾起來。
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