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只見,光刻室裡此時並沒有一名操作工。
需要流片的矽晶圓片,透過流水線進入一個半密封的洗滌室。洗滌室內有許多自動噴頭,可以全方位的噴灑洗滌藥劑,清洗矽晶圓片的表面。
清洗乾淨的矽晶圓透過烘乾室,自動烘乾,熱風吹拂除塵除異物,負壓吸取異物。完成這道工序,潔淨級別的矽晶圓透過運輸皮帶來到光刻室的主操作間。
這時候,四臺碼垛機器人把這些矽晶圓片取下來,放入托盤中臨時存放。另外有四臺機碼垛器人,從托盤中取出一片矽晶圓片,放入光刻機內,等待光刻機給矽晶圓片曝光。
這一套流程下來,居然不要操作工來完成作業。
陳榮幹震驚了,眼前的這一切讓他無比震撼,“全球最先進的Foundry製程工藝果然不是吹的。這條晶片生產線應該是全球第一,沒有哪一家的生產線比這還要先進。”
不但他這麼想,所有來參觀的技術專家們,此時都是這麼想的。
“哇哦!全自動的晶片生產線。我們的Foundry正在研製,鳴芯製造公司倒是已經搞成功了。”
“我靠!這也太牛了吧!比我們高麗國的水平還要高。”
“這訊息一定要帶回去。我們三新電子一定要做到這一步,否則就會被淘汰的。”
“這是全自動的光刻技術,我們來參觀學習又能看到什麼呢?”
“是啊。我一開始還比較納悶,一鳴集團公司怎麼會如此大方。現在我總算是搞清楚嘍。”
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