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“老胡,來。咱們一起合影留念!”這時,董教授朝正在觀看工作站顯示屏的胡明鎮,使勁的招手。
“對!這麼重要的時刻,咱們一定要記錄下來。”
“小梁、老郝,你們都一起來合影留念。”
董教授、單教授等一干院士級專家教授們都非常興奮,抑制不住內心的激動。他們都在手舞足蹈的說著話。
光刻矽晶圓片的速度非常快,兩分鐘不到就可以給一片8英寸的矽晶圓片完成曝光流程工藝。因為這次給朱雀·酷睿I晶片做流片工程,其實就是一次測試。胡明鎮沒安排批次生產,只讓手下的團隊準備了10片矽晶圓片。
在董教授等人邀請他合影留念的時候,正在工作的KrF光刻機已經完成了給第一片矽晶圓片曝光照相的流程,用時在95秒左右。這個速度在目前來說應該是全球第一,要遠遠超過那三臺從米國運來的KrF光刻機。
不但如此,胡明鎮設計的這臺第三代光刻機,一直秉承了鳴芯製造公司的傳統,採用雙工製程工藝,擁有兩個工作臺。
在劉教授這幫人激動不已手舞足蹈的時候,這臺光刻機的鐳射頭已經挪動位置,轉到另外一個工作臺上開始掃描掩膜片,給矽晶圓片曝光。
於此同時,另外一隻檢驗鐳射頭開始工作,給已經曝光好的矽晶圓片做檢驗,執行矽晶圓片蝕刻工藝前的驗片製程工藝。
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