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“胡教授,且慢!”而這時,華夏工程院的董教授卻連忙擺手,請求胡明鎮暫緩執行兩套系統的對接接駁程式。
“老董,你發現什麼問題?”看到這一幕,華夏科學院的單教授不禁有些詫異。光刻室裡的這臺krf光刻機,雖然做工精緻,佈局科學,卻也沒什麼過人之處啊?
不但單教授如此驚訝,劉教授等人此時也都有些吃驚的朝董教授這邊看來,目光中滿是狐疑的味道。
“那兩套系統之間都有一個銀色的箱體結構。你們不覺得這箱體結構有點奇怪嗎?”董教授精通機械原理,已經看出鐳射光路系統和主機系統是採用接駁的方式連線,對李堯設計的接駁箱很好奇。
經過他這麼一提,劉教授等人頓時對接駁箱關注起來,紛紛詢問是不是可以到光刻室內近觀。
“沒問題!大家都跟我來。”胡明鎮自豪的一擺手,領著一眾教授專家們朝光刻室裡走去。
光刻室裡,郝寧教授等人正在做準備工作,各種測試儀器都找準位置;負責起重吊裝的操作工,已經把叉車準備好,隨時待命隨時可以執行吊裝就位的操作。
看著這種井然有序的場面,劉教授不禁暗暗點頭。他負責的清大電子實驗室也曾經制作國光刻機,卻沒有鳴芯製造公司這般訓練有素的團隊。
“這個接駁箱是我們為了解決裝置主體震動量所特意設計的新機構,採用pdix系統技術,目前球也只有我們一家企業可以製造。”梁宋松此時充當著解說員,站在兩套系統之間給一眾專家教授們做解答釋疑。
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