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“許振鳴是外行人,能知道這臺光刻機的技術原理麼?”
“錦上添花沒有雪中送炭來得划算,我還是等到最後再亮出底牌才好。”
猶豫半天,梁宋松還是忍住了,沒把自己的判斷和設想說出來。他轉過臉去,開始安排自己小組的實驗流程工序。
這時。
郝寧教授的小組成員已經進入狀態,把鐳射能量測試儀、鐳射光譜分析儀、鐳射頭焦距測試儀等各種儀器除錯好,隨時可以進入測試狀態。
見郝寧教授小組的準備工作已經就緒,梁宋松伸手捋了捋頭上油光澤亮的頭髮,表情嚴肅的下令:“郝教授,咱們開始試驗,第一步是測試鐳射能量的衰減率。”
“開始試驗!把能量測試儀調整到自動調節執行狀態,每一個0.001毫米的高度測試一組資料。”郝寧掃了一眼梁宋松,隨後就進入工作狀態。
鐳射光路系統的能量測試難度非常大,空間高度每相差0.001毫米,鐳射在空氣中消耗的能量就會衰減一個數據級。而鐳射能量的最終值會影響到鐳射曝光的強度,影響到晶片光刻物理線路圖的精度。
梁宋松之所以把這個測試專案放在第一步,也正是因為如此。但他此時卻不慌不忙,好像已經知道測試以後的資料一般。
“第一個節點資料正常,鐳射能量衰減度低於0.009的資料級。”
“第二個節點資料也正常,能量衰減度低於0.0095的資料級。”
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