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嘟!
嘟!
嘟!
隨著萬寧古的一聲令下,光刻室內的報警器閃爍著紅光,發出警報,提醒在場的工作人員集中注意力。這一次的光刻模擬實驗鳴芯製造公司要投入大量的資金,每一步都要小心謹慎才行。
比如說,光刻掩膜片、光刻膠、電能、中間試劑等損耗品,價格都非常高。這些費用算下來,比真正做一次流片的成本也少不了多少。
故此,萬寧古此時的表情非常緊張,目不轉睛的盯著第三代光刻機的主控操作介面。隨著光刻機鐳射頭和觀課工作臺的運動,他的嘴角也不由自主的抽抽著,嘴裡在唸念有詞。
“應該沒問題!”
“這次一定會成功!”
光刻流片的精度已經超過人類目測的能力範圍,工作人員不可能當場就看到鐳射曝光後的光刻效果。特別是採用FinFET製程技術以後,光刻流片的製程工藝更加複雜,工作人員只能從監視器上看到模擬的光刻過程。
所以說,萬寧古即便再著急,也只能等到這臺第三代光刻機完成光刻曝光的流程才能得知此次模擬光刻的效果。
相對而言,對這種高階工藝不精通的許振鳴來說,這僅僅只是一次普通的實驗。“即便這次實驗不成功,我們公司也算創造了歷史。”他目光柔和的掃視了一眼整個光刻室。
在另一個時空,華夏國的第三代國產光刻機、浸入式光刻製程工藝技術、FinFET製程技術等高階晶片Foundry製程技術,都要等到老外玩膩了才能攻克。而現在,一鳴集團公司的這般技術專家,已經做得很好了。
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