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周曉東此時繼續向楊力持解釋道：“這種汞燈光源系統的光刻機裝置到時候不合適加工更先進的大規模積體電路裝置後依然可以用來加工分立器件、功率器件、模擬晶片等產品，這樣的光刻機裝置需求量是相當大的，我們並不擔心這種裝置會被淘汰掉。”

“另外我們研製的電子束系統和離子源其實就是為更先進光源系統做準備的，對於研製出這些高品質的高功率光源系統我本人還是非常有信心的。”

周曉東開口說道：“我們國內的科學家在十多年前就在實驗室裡面利用利用鐳射等離子體軟Ｘ射線為激勵源，觀察到離子性氟化氬準分

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