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“周董，你們是如何把光刻機工件臺運動精度誤差控制在如此低程度的？”

童院長此時開口開口問道。

“我們自身研製出了超高精度的脈衝編碼器可以對直線電機進行奈米級別的移動，另外控制系統裡面匯入了動態誤差補償演算法。”

周曉東說道：“我們在大功率脈衝電源技術和功率放大器技術上技術底子做得還是很不錯的，自身能研製出直線電機超高精度的脈衝編碼器和高精度驅動電源模組和高效能的功率放大器模組，這方面的技術我們比國外產商做得還要好。”

“另外我們自己研製的超高精度光柵尺可

《大國芯之重生九零》194章 高階產業鏈！ 正在手打中，請稍等片刻，

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