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“嚴格地說，是我們在光刻機裝置的工件臺這種關鍵部件系統上取得了突破，透過我們的試用測試，我們研製的工件臺部件系統運動精度平均偏差控制在了四點五奈米，運動標準偏差做到了七奈米，按照這個技術指標來算的話，我們工件臺系統可以滿足六十五納米制程工藝的光刻機裝置需求。”

周曉東此時向一號首長彙報道。

“六十五奈米？”

一號首長此時瞪大了眼睛。

“是的，這是我們在實驗生產線裡面透過使用測試得到的資料，不過我們還在進行工件臺裝置的耐久可靠性方面的測試，這個測試過程差

《大國芯之重生九零》188章 以點破面！ 正在手打中，請稍等片刻，

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