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光刻機很難。
真的非常非常難。
難度係數是氫彈的十倍。
哪怕傾舉國之力也不可能在短期內拿得下。
以上這些,是經常充斥在衛明耳邊的話,聽得他幾乎耳朵長繭。
真的有那麼難麼?
這些天,親自進入研發工廠,瞭解透了光刻機的工作原理,在“老闆工作間”內,利用體內的小黑,輕鬆打磨出幾十個合格的高精密零件,以及20塊的“鍋蓋”鏡片——每塊“鍋蓋”鏡片,由四十層玻璃疊加而成,表面凸起都不得超過1奈米。
“很簡單嘛,好像沒什麼難的。”
看著面前成批成批的精度完全合格的零件,衛明撇了撇嘴說道。
“到底難在了什麼地方?”
“光源發生器非常難。”
蒲偉才說道:“要製造出波長13.5奈米的極紫外光,必須要用193奈米波長的深紫外光,擊打自由落體的金屬錫滴,並且要在極短的時間內,連續擊中錫滴兩次,每秒重複5萬次,才能產生足夠強度的極紫外光。”
要知道金屬錫滴的直徑只有二十微米。
自由落體過程中,不僅要被鐳射擊中,由水滴狀攤平成圓餅狀,再進行第二次擊打,才能擊發出最強烈的極紫外光……整個過程,完全是動態中發生的,如同用繡花針擊中蒼蠅,而且要連續擊中兩次。
並在一秒內,重複五萬次這套操作。
“你不是說已經解決光源問題了麼?而且能源利用率達到了5%?”衛明不解的道。
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