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楊傑對於這個神光光源設施取得的作用還是非常滿意的,而且透過這個專案的研發也是讓華興科技集團公司和中科院在極紫外光光刻機的光源系統技術產品上已經變得成熟了。
不過最難的是這種極紫外光具有破壞性,無法用玻璃透鏡折射,必須要研製特殊的鍍膜的反射透鏡,雖然瑞星科技公司公司幾年之前就造出了原理樣機,但是實驗中還是碰到了非常多的技術難題,而且不是光刻機裝置造出來就行的,這個還需要光刻膠和掩膜等很多方面的支援,可以說是牽一髮動全身。
現在中晶微已經掌握了32奈米的製程工藝,跟英特爾公司的製程工藝水平是相當的,不過最多還有三代製程工藝後就達到了氟化氬光源的極限了,而楊傑也是希望能夠藉助極紫外光光刻機順利地將摩爾定律給進行下去。
所以楊傑也是讓瑞星科技公司要在6年後順利地推出極紫外光光刻機,實現量產,任務還是非常重的。
到現在為止,瑞星科技公司已經成為了光刻機領域的巨頭公司,基本上已經佔到了這個市場的百分之五十多,而艾斯摩爾公司則是佔到了百分之三十多的市場份額。
這主要是鷹醬國內包括英特爾等晶片廠商以及南韓晶片廠商都是努力地扶持艾斯摩爾公司,他們都不想在光刻機上面被瑞星科技公司完全給壟斷了,而尼康和佳能在光刻機裝置上面已經完全被邊緣化了。
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