“非常好！”楊子光興奮地點頭說道，“你們能在這方面跑到所有公司的前面對我們國傢俱有重大的戰略價值，你們必定要牢牢地佔領這個技巧制高點，這樣我們國家才不會被國外洽商。”

隨後楊子光也是視察了瑞星科技公司，當楊子光見到瑞星科技公司正在測試實驗的第三代高階1光刻機。

瑞星科技公司和燕京物化所聯合研製的氟化氪鐳射光源往年已經變得成熟了，為瑞星科技公司供給了穩固可靠的光源。

同時瑞星科技公司也是根據楊傑的技巧方案開發出了掩模臺、工件臺地位丈量裝置及丈量方法，並且申請了國家專利。

這套裝置採用了若干鐳射干涉儀代替電容感測器，使程度向和垂直方向的感測器一致，摸索出了一套獨佔的演算法，對丈量過程中引進對各向丈量干涉儀的進行了權重分配，使得對掩模臺地位丈量更加準確。

瑞星科技公司透過數年的艱苦研發，總算是將工件臺和掩膜臺運動精度把持在了三奈米的程度，這一切是瑞星科技公司和機床研究院和數個研究所一同攻關的成果，光是這麼一個系統參與的技巧職員就達到了上千名。

三陽光學廠在應用了機床研究院超高精度的磨床後和天馬科技公司供給的研磨液後總算是將這些鍋蓋大小的鏡頭光學孔徑數值提升到了1.33，已經接近了光學鏡頭的極限。

德國蔡司能把光學鏡頭的光學孔徑數值已經能做到1.4，已經逼近了1.49這個極限，三陽光學廠能做到這個地步已經是非常了不起了。

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