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今天是洪湖市洪山區的中晶微公司晶圓廠裝置進廠的日子,兩臺瑞星科技公司光刻機被存進了恆溫倉庫,今天被運抵廠區,需要在吊車的協助下吊裝進廠房。
此刻廠房二樓外牆上拉開了一扇預留的大門,門下臨時搭起了一個運輸平臺。
起重吊車轟鳴著,將運輸卡車上那個用一層層保溫材料包裹著的裝置箱緩緩吊起,平穩送上了二樓平臺,隨即裝置箱被安裝人員在平臺上開啟,將裡面那臺用一層層保溫防塵膜裹緊的光刻機推到了滑輪臺上,然後被小心地推進活動門。
隨著被多層薄膜裹得嚴嚴實實的兩臺光刻機前後消失在門內,工作人員將大門緩緩合攏,工程師們魚貫爬上平臺,開始對大門與牆體接縫處進行密封施工。
譚雲松此時手拿對講機發號施令:“裝置一組各就各位,立刻對光刻間進行一級除塵,注意控溫,三小時後摘除第一層防塵恆溫罩,明天天亮之前要把所有防塵恆溫罩摘除,明天一定要進入機位安裝程式,絕不能耽誤瑞星科技公司安裝人員的工作日程!”
楊傑在譚雲松身旁靜靜地看著他指揮,心中感慨良多。
這是第一座在洪湖市落戶的第一個0.18微米十二英寸晶圓廠,經過一年多的緊張施工,現在終於進入了裝置安裝除錯階段,這也算是亞洲第一座最先進的晶圓廠了。
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