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而且當年瑞星科技公司剛開始研發雙工件臺系統的時候也是透過外交渠道邀請過霓虹國康尼株式會社的社長來華興科技集團公司這邊訪問,當時這位社長還當著何玉光等人的面說過這麼一句話:“光刻機光學系統雖然很難,我相信你們能夠研製出來,但工件臺你們恐怕是拿不下來的,因為這個系統太複雜了。”
而且康尼精機方面也是不願意向瑞星科技公司公司提供零部件的,更願意賣整機。
後來瑞星科技公司也是靠著華興科技集團公司和楊傑的關係網得到了各種技術專利和人才資源,一邊緊盯著海外光刻機的技術動向一邊自己埋頭苦幹,一開始搞出來的光刻機確實是整體效能不怎麼樣,但是中晶微和華越電子集團和華晶都是批次購買,而瑞星科技公司公司也是直接派出技術人員守在晶圓廠隨時解決問題和收集各種資料,逐步地讓自己的產品裝置改進完善。
瑞星科技公司剛開始的時候並不追求光刻機在所有方面效能卓越,強調的是可靠穩定,一開始的時候得不到氟化氪和氟化氬這些鐳射光源就用技術已經非常成熟的汞燈光源裝置結合浸入式光刻技術開始起步。
當年瑞星科技公司公司全力攻克的是沉浸式光刻機的浸液系統,並在這個系統上面掌握了大量的技術專利,這個也成了瑞星科技公司殺手鐧一般的武器。
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